典型文献
一体化仿生结构压电MEMS水声传感器
文献摘要：
为了实现水声传感器的低能耗、高灵敏度以及低成本批量制造,设计并制备了一种四螺旋梁集成拾振微球的一体化仿生压电微电子机械系统(MEMS)水声传感器.根据水母耳石触觉结构和水母身体回弹发电原理对该传感器进行仿生结构设计,并通过建模仿真确定其几何尺寸.利用溶胶-凝胶法制备了PbZr0.52Ti0.48O3 (PZT)压电薄膜,实现了压电层与Si晶圆片的异质集成,使用MEMS工艺制造了传感器件并完成封装.通过水声校准系统进行接收灵敏度测试,结果表明水声传感器的灵敏度达到-184.63 dB,表现出良好的灵敏度特性.对促进无源水声传感系统的发展和解决深海环境中微弱信号的灵敏识别、探测等技术难题具有重要意义.
文献关键词：
微电子机械系统(MEMS);水声传感器;仿生结构;压电效应;异质集成
中图分类号：
作者姓名：
石树正;耿文平;毕开西;李芬;丑修建
作者机构：
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;河北建筑工程学院机械工程学院,河北张家口 075000
文献出处：
引用格式：
[1]石树正;耿文平;毕开西;李芬;丑修建-.一体化仿生结构压电MEMS水声传感器)[J].微纳电子技术,2022(01):50-57
A类：
PbZr0,48O3
B类：
MEMS,水声传感器,低能耗,高灵敏度,四螺旋,微球,微电子机械系统,水母,耳石,触觉,回弹,发电原理,仿生结构设计,建模仿真,真确,几何尺寸,溶胶,凝胶法,52Ti0,PZT,压电薄膜,Si,晶圆,异质集成,传感器件,封装,过水,校准系统,接收灵敏度,灵敏度测试,明水,dB,无源,源水,传感系统,深海,海环境,微弱信号,技术难题,压电效应
AB值：
0.35898
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