典型文献
基于多壁碳纳米管的电阻式温度传感器
文献摘要：
为解决热敏型电阻式温度传感器线性度差、可测温度范围小等问题,介绍了一种以多壁碳纳米管(MWCNT)为温敏材料的电阻型温度传感器.利用微机电系统(MEMS)工艺制备叉指电极作为热敏电阻,在80℃下将MWCNT超声分散溶液涂覆组装在电极上,使用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对MWCNT进行形貌表征,并搭建温度测试平台对传感器进行性能测试.测试结果表明:在40～340℃范围内,传感器的电阻随着温度的上升而下降,传感器的灵敏度约-122.230Ω/℃,线性相关系数为0.99571;200℃时,传感器响应时间为5 s,恢复时间为4 s.同时,该传感器的迟滞性小,稳定性良好.
文献关键词：
多壁碳纳米管;电阻式传感器;微机电系统工艺;温敏特性
中图分类号：
作者姓名：
赵珠杰;梁庭;王凯;雷程
作者机构：
中北大学动态测试技术省部共建国家重点实验室,山西太原030051;天津伟加环境科技有限公司,天津300450
文献出处：
引用格式：
[1]赵珠杰;梁庭;王凯;雷程-.基于多壁碳纳米管的电阻式温度传感器)[J].传感器与微系统,2022(12):67-70
A类：
微机电系统工艺
B类：
多壁碳纳米管,电阻式温度传感器,线性度,可测,测温,MWCNT,温敏材料,利用微,MEMS,工艺制备,叉指电极,热敏电阻,超声分散,涂覆,原子力显微镜,AFM,形貌表征,温度测试,测试平台,线性相关系数,响应时间,恢复时间,迟滞性,电阻式传感器,温敏特性
AB值：
0.300566
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