典型文献
硅阵列探针上基于IrOx的pH传感器和电生理信号传感器
文献摘要：
脑部区域的pH值是哺乳动物中枢神经系统(CNS)的重要环境参数,并与多种神经系统疾病相关.采用微机电系统(MEMS)工艺和电化学方法制造了由电化学电极点和电生理电极点组成的多功能密歇根探针.在多功能密歇根探针中,电生理电极点在1 kHz时具有10 kΩ的低阻抗,而电化学电极点则对pH值具有47 mV/pH的灵敏度.此多功能密歇根探针能够帮助揭示神经生理学和病理学的机制.
文献关键词：
pH传感器;微机电系统;多功能;密歇根探针
中图分类号：
作者姓名：
王琛;刘景全
作者机构：
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240
文献出处：
引用格式：
[1]王琛;刘景全-.硅阵列探针上基于IrOx的pH传感器和电生理信号传感器)[J].传感器与微系统,2022(04):70-72,85
A类：
密歇根探针
B类：
IrOx,电生理信号,生理信号传感器,脑部,哺乳动物,中枢神经系统,CNS,环境参数,神经系统疾病,疾病相关,微机电系统,MEMS,电化学方法,极点,kHz,低阻抗,mV,神经生理学
AB值：
0.251656
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