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MEMS光纤温度氢气传感器在油状态监测中的应用研究
文献摘要：
通过将微机电系统(MEMS)加工技术与光纤传感器技术相结合的方法,将温度感知模块和氢气感知模块集成在温度氢气MEMS光纤复合传感器内部,并在25号绝缘油中完成油温和油中溶解氢气的可行性验证实验.实验结果表明:温度感知模块在35～85℃的绝缘油温度范围内有良好的线性度,其灵敏度为14.5 pm/℃;氢气感知模块对油中溶解氢气有较强的响应,且完成氢气体积分数测量后,光谱峰值可恢复至初始状态.验证了该复合传感器在油中气体检测应用的可行性.
文献关键词：
微机电系统;光纤;传感器;温度;氢气含量;在线监测
中图分类号：
作者姓名：
赵乐;贾雅君;江俊杰;席东民;刘林钊;金之俭
作者机构：
内蒙古工业大学电力学院,内蒙古呼和浩特010010;上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240
文献出处：
引用格式：
[1]赵乐;贾雅君;江俊杰;席东民;刘林钊;金之俭-.MEMS光纤温度氢气传感器在油状态监测中的应用研究)[J].传感器与微系统,2022(06):52-55,60
A类：
B类：
MEMS,氢气传感器,油状,状态监测,微机电系统,加工技术,光纤传感器,传感器技术,技术相结合,温度感知,感知模块,模块集成,复合传感器,绝缘油,油温,溶解氢气,可行性验证,验证实验,线性度,pm,谱峰,初始状态,中气,气体检测,检测应用,氢气含量,在线监测
AB值：
0.357353
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