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硅基线性模式APD焦平面研制
文献摘要：
针对三维激光雷达的应用场景对雪崩光电二极管(APD)焦平面的性能要求,研究并制备了一种2×128硅基线性模式APD焦平面组件,它由硅基APD焦平面阵列、读出电路和制冷封装管壳组成.APD像元采用拉通型结构,通过大尺寸微透镜实现了高填充因子,通过隔离环掺杂实现了串扰抑制.通过离子注入工艺实现了击穿电压和响应电流的均匀性.设计大带宽低噪声跨阻放大电路、高精度计时电路,实现了窄脉宽、高灵敏度探测.采用气密性封装,实现了 APD焦平面制冷一体化封装,制冷温差在40 K以上.测试结果表明,焦平面的探测阈值光功率可达3.24 nW,响应非均匀性为3.8％,串扰为0.14％,最小时间分辨率可达0.25 ns,实现了强度信息与时间信息同时输出的功能.
文献关键词：
雪崩光电二极管;线性模式;焦平面阵列;三维成像
中图分类号：
作者姓名：
郭安然;雷仁方;黄建;邓光平;马华平;黄烈云;谷顺虎;郭培
作者机构：
重庆光电技术研究所,重庆400000
文献出处：
引用格式：
[1]郭安然;雷仁方;黄建;邓光平;马华平;黄烈云;谷顺虎;郭培-.硅基线性模式APD焦平面研制)[J].半导体光电,2022(05):854-860
A类：
B类：
硅基,线性模式,APD,三维激光雷达,雪崩光电二极管,性能要求,焦平面阵列,读出电路,制冷,装管,管壳,大尺寸,微透镜,高填充,填充因子,串扰抑制,离子注入,注入工艺,击穿电压,应电流,大带宽,低噪声,跨阻放大,放大电路,窄脉宽,高灵敏度探测,气密性封装,一体化封装,光功率,nW,响应非均匀性,小时间,时间分辨率,ns,强度信息,时间信息,三维成像
AB值：
0.365019
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