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微谐振陀螺仪从半球到平面的演变
文献摘要：
微谐振陀螺仪是一种固体波动陀螺,常采用微纳制造工艺进行加工,具有小体积、高性能、低功耗、批量化等特点.自1975年世界上第一个半球谐振陀螺诞生以来,微谐振陀螺的谐振子拓扑结构经历了三维结构到二维结构的演变.文章以拓扑结构的发展脉络为主线,对微谐振陀螺的发展过程进行了梳理和总结,最后对目前存在的问题进行了分析,对未来的发展进行了展望.
文献关键词：
微谐振陀螺仪;微谐振器;半球陀螺仪;环形陀螺仪;四质量块陀螺仪
中图分类号：
作者姓名：
谷留涛;张卫平;崔峰;吴雨婷;范重阳;卢浩琳
作者机构：
上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240;上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海200240
文献出处：
引用格式：
[1]谷留涛;张卫平;崔峰;吴雨婷;范重阳;卢浩琳-.微谐振陀螺仪从半球到平面的演变)[J].半导体光电,2022(06):前插1-前插2,1011-1019
A类：
微谐振陀螺仪,半球陀螺仪,环形陀螺仪,四质量块陀螺仪
B类：
体波,微纳制造,制造工艺,小体积,低功耗,一个半,半球谐振陀螺,谐振子,拓扑结构,三维结构,二维结构,微谐振器
AB值：
0.184042
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