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耐高温压力-振动复合传感器设计与仿真
文献摘要：
针对高温环境受限空间内压力及振动参数测量的实际需求,设计了一种基于陶瓷共烧工艺的压力—振动复合传感器,将压力、加速度参数转换为电容值实现测量.通过MATLAB软件对复合敏感结构参数进行仿真分析并确定结构尺寸,利用Ansys Workbench对复合敏感结构的静态力学、模态、谐响应及热力学参数进行仿真分析.结果表明:设计的传感器在0～0.5 MPa压力和0～25 gn加速度载荷下能够正常工作;结构的模态分析一阶频率为701.44 Hz,且与谐响应分析结果基本一致;1200℃下压力灵敏度为2.3 pF/MPa,振动灵敏度为1.1888pF/gn.
文献关键词：
共烧陶瓷;耐高温;压力-振动复合传感器;Ansys Workbench分析
中图分类号：
作者姓名：
孙博山;熊继军;李晨
作者机构：
电子测试国防科技重点实验室,山西太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]孙博山;熊继军;李晨-.耐高温压力-振动复合传感器设计与仿真)[J].传感器与微系统,2022(09):16-19,24
A类：
1888pF
B类：
耐高温,高温压力,复合传感器,传感器设计,设计与仿真,高温环境,受限空间,内压力,振动参数,参数测量,速度参数,电容值,定结构,结构尺寸,Ansys,Workbench,静态力学,热力学参数,gn,加速度载荷,模态分析,谐响应分析,下压力,压力灵敏度,振动灵敏度,共烧陶瓷
AB值：
0.405345
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