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铌酸锂单晶悬臂梁MEMS振动传感器的性能
文献摘要：
研究了基于铌酸锂压电单晶薄膜悬臂梁的微电子机械系统(MEMS)振动传感器的结构设计和加工工艺,并在宽频带和宽温度范围条件下对传感器进行了输出性能测试.结果表明,所制备的传感器固有频率接近于设计的目标频率;输出电荷呈正弦波形且其振幅随着振动加载加速度的幅值线性增长;当加载加速度为10g、频率为20～2 200 Hz时,传感器的输出电荷比较平稳;传感器在70℃时的平均输出电荷较常温条件下的提升了 19.6％;在-40℃时平均输出电荷虽下降了 18％,但仍保持良好的电荷输出水平,体现了该振动传感器的鲁棒性.所研究开发的MEMS振动传感器制备工艺简单、输出特性高,在高频微振动监测方面具有较好的应用前景.
文献关键词：
微电子机械系统(MEMS);振动传感器;双悬臂梁;铌酸锂单晶;鲁棒性
中图分类号：
作者姓名：
魏慧芬;穆继亮;耿文平;丑修建
作者机构：
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原 030051
文献出处：
引用格式：
[1]魏慧芬;穆继亮;耿文平;丑修建-.铌酸锂单晶悬臂梁MEMS振动传感器的性能)[J].微纳电子技术,2022(07):665-671,724
A类：
铌酸锂单晶,微振动监测
B类：
MEMS,振动传感器,压电单晶,单晶薄膜,微电子机械系统,加工工艺,宽频带,宽温度范围,输出性能,固有频率,电荷,正弦波,线性增长,10g,保持良好,研究开发,制备工艺,输出特性,双悬臂梁
AB值：
0.196554
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