典型文献
微型压电厚膜执行器的仿真与实验研究
文献摘要：
采用ANSYS有限元软件建立了微型压电厚膜执行器的多物理场耦合仿真模型,求解了微型压电厚膜执行器B(0,3)模态的共振频率为80673 Hz,在15 V交流电压下的振幅为210 nm.同时通过磁控溅射、电流体喷射打印工艺,制备了外径为4.5 mm的环形PZT压电厚膜执行器并对其进行性能表征,采用阻抗分析仪对压电执行器进行扫频测试,得出压电执行器的谐振频率为79 kHz,与模态仿真分析所得结果误差为2.1％;采用单点式激光多普勒测振仪,对压电执行器进行动态振幅测试,得出压电执行器定子齿部分表面质点的Z方向振幅为202.4 nm,与瞬态仿真分析结果相比误差为3.6％,实验结果验证了仿真的准确性.
文献关键词：
压电执行器;PZT厚膜;ANSYS仿真;电流体喷射打印
中图分类号：
作者姓名：
袁钰恒;赵奎鹏;宗浩然;王大志
作者机构：
大连理工大学辽宁省微纳米技术与系统重点实验室,辽宁大连 116024;大连理工大学宁波研究院,浙江宁波 315016
文献出处：
引用格式：
[1]袁钰恒;赵奎鹏;宗浩然;王大志-.微型压电厚膜执行器的仿真与实验研究)[J].机电工程技术,2022(01):9-11,57
A类：
电流体喷射打印
B类：
厚膜,多物理场耦合仿真,物理场耦合仿真模型,共振频率,交流电压,磁控溅射,打印工艺,外径,PZT,性能表征,阻抗分析仪,压电执行器,扫频,谐振频率,kHz,模态仿真,单点,点式,激光多普勒测振仪,振幅测试,定子,齿部,质点,瞬态仿真
AB值：
0.288737
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