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微波等离子体平板式PECVD设备控制系统设计
文献摘要：
研究了微波等离子体平板式PECVD设备的控制系统,主要讨论了微波控制系统,并给出了实现的关键代码;介绍了温度控制系统及其控制方法;设计了系统自动工艺流程.
文献关键词：
微波;等离子体;平板式PECVD;控制系统
中图分类号：
作者姓名：
吴易龙;陈臻阳;李若儒
作者机构：
湖南红太阳光电科技有限公司,湖南 长沙 410111
文献出处：
引用格式：
[1]吴易龙;陈臻阳;李若儒-.微波等离子体平板式PECVD设备控制系统设计)[J].电子工业专用设备,2022(02):45-47
A类：
B类：
微波等离子体,平板式,PECVD,设备控制,控制系统设计,代码,温度控制系统
AB值：
0.227239
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