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高温外延炉气体压力控制系统的实现
文献摘要：
针对碳化硅外延工艺过程中压力控制范围大、控制精度高的要求,以及受到温度、气流变化大的影响,介绍了一种用于碳化硅高温外延工艺的高温外延炉腔内压力控制系统.通过分析碳化硅外延炉压力控制系统,提出了模糊自适应PID控制算法.在国产碳化硅外延设备上进行验证,实验结果表明压力控制系统具有较快的响应速度和较低的超调量,效果良好,能满足碳化硅高速外延需求.
文献关键词：
碳化硅;高速外延;压力控制;比例积分微分
中图分类号：
作者姓名：
毛朝斌;高桑田;盛飞龙;仇礼钦;王鑫
作者机构：
季华实验室,广东 佛山 528251
文献出处：
引用格式：
[1]毛朝斌;高桑田;盛飞龙;仇礼钦;王鑫-.高温外延炉气体压力控制系统的实现)[J].电子工业专用设备,2022(05):1-4,31
A类：
B类：
炉气,气体压力,压力控制,碳化硅,硅外延,外延工艺,工艺过程,中压,控制精度,气流变化,炉腔,内压力,炉压,模糊自适应,PID,控制算法,外延设备,响应速度,超调量,高速外延,比例积分微分
AB值：
0.321768
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