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PVD自动控制系统的设计
文献摘要：
阐述物理气相淀积PVD是异质结HJT太阳能电池片生产工艺中的关键设备,它由6个模块组成,包括真空模块、溅射模块、加热模块、传动模块、冷却模块和自动控制模块.为了实现控制设备,开发了一套PVD自动控制系统,由上位机和下位机组成.开发过程采用原型化方法,不断探索,设计出了最终的系统.探讨在建立系统后,进行演化升级的设计与研究过程.
文献关键词：
自动控制;溅射;PVD;HJT;上位机;下位机
中图分类号：
作者姓名：
陈立波;羊宽;黄心沿
作者机构：
湖南红太阳光电科技有限公司,湖南 410205;中南大学传感技术研究所,湖南 410083
文献出处：
引用格式：
[1]陈立波;羊宽;黄心沿-.PVD自动控制系统的设计)[J].集成电路应用,2022(01):60-62
A类：
B类：
PVD,自动控制系统,理气,异质结,HJT,太阳能电池片,关键设备,溅射,冷却模块,控制模块,控制设备,上位机,下位机,开发过程,建立系统,设计与研究,研究过程
AB值：
0.380155
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