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基于气浮技术的自调平系统的设计应用
文献摘要：
气浮技术由于其高速度、高精确度、摩擦损耗小、噪音低、可靠性高和成本低的优点,在半导体、微电子、液晶显示领域的各类精密设备中的应用日趋广泛.论述了气浮技术的多种应用方式,并重点对气浮自调平系统进行了深入探讨,从系统的原理、设计、应用验证等多个方面进行了分析阐述,使基于气浮技术的自调平关键结构设计在精密设备中得以实现.
文献关键词：
气浮;自调平;半球体;锁定
中图分类号：
作者姓名：
田芳;韦杰;张志耀;孟超;孙丽娜
作者机构：
中国电子科技集团公司第二研究所,山西 太原 030024
文献出处：
引用格式：
[1]田芳;韦杰;张志耀;孟超;孙丽娜-.基于气浮技术的自调平系统的设计应用)[J].电子工艺技术,2022(04):228-230
A类：
B类：
气浮,自调平,调平系统,设计应用,高速度,高精确度,摩擦损耗,噪音,可靠性高,微电子,液晶显示,精密设备,应用方式,应用验证,半球体
AB值：
0.338081
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