典型文献
基于倒装键合设备的准直调平系统研究
文献摘要：
针对自行研制的倒装键合设备,建立了基于视觉的调平系统,运用自准直原理设计了调平光路,同时结合图像识别技术及算法对键合面的状态实时观察,并通过调节高精度机构实现键合面的平行度调节.结果表明,准直调平系统的研制对键合效果的提升有很好的促进作用.
文献关键词：
倒装键合设备;自准直原理;准直调平系统
中图分类号：
作者姓名：
闫瑛;郝耀武;王增琴
作者机构：
中国电子科技集团公司第二研究所,山西 太原 030024
文献出处：
引用格式：
[1]闫瑛;郝耀武;王增琴-.基于倒装键合设备的准直调平系统研究)[J].电子工业专用设备,2022(02):52-55
A类：
倒装键合设备,准直调平系统,自准直原理
B类：
原理设计,平光,光路,图像识别技术,合面,平行度
AB值：
0.10842
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