典型文献
油气润滑在脆硬材料多线切割设备中的应用
文献摘要：
针对半导体脆硬材料的切割加工成为多线切割设备发展的突出因素,通过与传统多线切割设备轴系比对分析,设计了适合碳化硅等脆硬材料切割加工设备轴系的油气润滑方式.通过实验比对得出使用油气润滑提升了多线切割设备的工艺优越性及精密性.
文献关键词：
油气润滑;脆硬材料;多线切割
中图分类号：
作者姓名：
周建军;杨晓静
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176
文献出处：
引用格式：
[1]周建军;杨晓静-.油气润滑在脆硬材料多线切割设备中的应用)[J].电子工业专用设备,2022(03):43-47
A类：
B类：
油气润滑,脆硬材料,多线切割,切割设备,切割加工,轴系,比对分析,碳化硅,加工设备,润滑方式,实验比对,出使,用油,精密性
AB值：
0.263484
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