典型文献
悬浮型石墨烯压力传感阵列的设计与研究
文献摘要：
传统的硅压阻式压力传感器存在易受温度影响、断裂韧性较差以及传感节点有限等缺点,因此设计了一种悬浮型阵列结构的石墨烯压力传感器.首先分析了该传感器的结构与原理,然后研究了应变对石墨烯能带结构的影响.最后,建立了顶板-支柱结构的压强放大模型和挠度放大模型.理论与仿真结果表明,压强的放大系数与半径比满足负指数关系,随着支柱底面半径的不断减小,放大系数趋于定值;在集中压力模型中,最大挠度与半径比近似满足线性关系,最大挠度与压强呈三分之一幂次关系.
文献关键词：
悬浮型石墨烯;压力传感阵列;能带结构;放大模型
中图分类号：
作者姓名：
赵程;周佳成;袁淑雅;王德波
作者机构：
南京邮电大学电子与光学工程学院、微电子学院,南京210023
文献出处：
引用格式：
[1]赵程;周佳成;袁淑雅;王德波-.悬浮型石墨烯压力传感阵列的设计与研究)[J].微电子学,2022(03):449-453
A类：
悬浮型石墨烯,压力传感阵列,放大模型
B类：
设计与研究,压阻式压力传感器,温度影响,断裂韧性,传感节点,阵列结构,结构与原理,能带结构,顶板,放大系数,底面,中压,压力模型,大挠度,三分之一
AB值：
0.208624
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