典型文献
LaTiO3外延薄膜的显微结构与电学性能研究
文献摘要：
本文利用脉冲激光沉积技术在LaAlO3(100)和SrTiO3(100)衬底上生长了LaTiO3薄膜,利用高分辨X射线衍射和透射电子显微术对薄膜的显微结构进行了系统表征,利用霍尔效应测量系统对薄膜的电学性能进行了研究.XRD结果表明在两种衬底上生长的LaTiO3薄膜均为单晶薄膜,SrTiO3衬底上的薄膜具有更高的结晶度.透射电镜显微结构表征的结果显示,LaTiO3薄膜在两种衬底上均实现了外延生长,SrTiO3衬底上的薄膜具有更少的晶格缺陷,薄膜与衬底之间的界面也更平直和明锐.薄膜I?V曲线测量的结果表明SrTiO3衬底上的LaTiO3薄膜具有更低的电阻率.两种薄膜显微结构和电学性能的优劣主要源自于薄膜与衬底之间的晶格失配大小,更小的界面失配有利于高质量薄膜的外延生长.
文献关键词：
LaTiO3;脉冲激光沉积;显微结构;透射电子显微学;电阻率
中图分类号：
作者姓名：
乔贝贝;姚婷婷;江亦潇;陈春林;马秀良;叶恒强
作者机构：
中国科学院金属研究所 沈阳材料科学国家研究中心,辽宁 沈阳110016;中国科学技术大学材料科学与工程学院,辽宁 沈阳110016;季华实验室,广东 佛山528200
文献出处：
引用格式：
[1]乔贝贝;姚婷婷;江亦潇;陈春林;马秀良;叶恒强-.LaTiO3外延薄膜的显微结构与电学性能研究)[J].电子显微学报,2022(04):407-412
A类：
LaTiO3
B类：
外延薄膜,显微结构,电学性能,脉冲激光沉积,沉积技术,LaAlO3,SrTiO3,衬底,上生,透射电子显微术,霍尔效应,测量系统,单晶薄膜,结晶度,透射电镜,结构表征,外延生长,晶格缺陷,平直,直和,明锐,电阻率,晶格失配,配有,透射电子显微学
AB值：
0.254681
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