典型文献
钨及其合金超精密抛光研究进展
文献摘要：
钨及其合金是当今高新技术产业重要的基础材料.近年来,科技的发展对材料表面质量提出了更高的要求,因此在特定条件下有必要对钨及其合金进行超精密抛光.聚焦高效、高质量、低损伤抛光,结合国内外相关研究,对适用于钨及其合金的超精密抛光方法如化学机械抛光(CMP)、电化学抛光(ECP)、磁流变抛光(MRF)、电流变抛光(ERP)、力流变抛光(FRP)进行了综述,阐述了各种抛光方法的加工原理、特点及其材料去除机理.从加工效率、加工精度、加工成本、环保等方面进行比较,概述了各种抛光方法的优势及其局限性.考虑到钨及其合金不同的应用需求,适用的抛光方法不尽相同.CMP、ECP主要用于钨及其合金的高效抛光,但存在抛光液污染的问题.MRF、FRP则可实现复杂曲面的超精密抛光,是较有前景的抛光新方法.最后从丰富理论体系、优化抛光工艺、注重经济环保3个方面对钨及其合金超精密抛光的发展趋势进行了展望.
文献关键词：
钨合金;超精密抛光;表面质量;低损伤;力流变抛光
中图分类号：
作者姓名：
许良;王林;陈泓谕;杭伟;吕冰海;袁巨龙
作者机构：
浙江工业大学 机械工程学院 超精密加工研究中心,杭州 310023
文献出处：
引用格式：
[1]许良;王林;陈泓谕;杭伟;吕冰海;袁巨龙-.钨及其合金超精密抛光研究进展)[J].表面技术,2022(04):24-36
A类：
力流变抛光,高效抛光
B类：
超精密抛光,高新技术产业,表面质量,特定条件,低损伤,抛光方法,化学机械抛光,CMP,化学抛光,ECP,磁流变抛光,MRF,ERP,FRP,加工原理,材料去除机理,加工效率,加工精度,加工成本,应用需求,抛光液,复杂曲面,抛光工艺,重经济,经济环保,钨合金
AB值：
0.244758
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