典型文献
氧化铝陶瓷表面高度分布状态随抛光时间的变化规律与机理研究
文献摘要：
利用化学机械抛光对氧化铝陶瓷进行加工,结合表面算术平均高度Sa和均方根高度Sq,研究偏斜度Ssk和陡度Sku随抛光时间的变化规律,分析光滑表面形成机理.结果 表明:随着抛光时间的延长,Sa和Sq呈先快速下降后缓慢下降的规律;Ssk呈先下降后上升再波动的规律;Sku呈先上升后下降再上升的规律.塑性去除、晶粒断裂和晶粒脱落三种作用机理是表面高度分布变化的本质,其中塑性去除作用贯穿整个抛光过程,有利于形成光滑表面;而晶粒断裂和晶粒脱落则主要作用于较光滑表面,这也是Ssk和Sku在抛光后期呈波动变化的主要原因.
文献关键词：
氧化铝陶瓷;化学机械抛光;表高度分布;抛光机理
中图分类号：
作者姓名：
郭亮龙;董会;黄姝珂;潘金龙
作者机构：
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621999
文献出处：
引用格式：
[1]郭亮龙;董会;黄姝珂;潘金龙-.氧化铝陶瓷表面高度分布状态随抛光时间的变化规律与机理研究)[J].热加工工艺,2022(04):91-94,99
A类：
表高度分布
B类：
氧化铝陶瓷,分布状态,化学机械抛光,算术平均,Sa,Sq,偏斜,斜度,Ssk,陡度,Sku,形成机理,快速下降,慢下,先下,先上,再上,塑性去除,晶粒,去除作用,光过,波动变化,抛光机理
AB值：
0.308913
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