典型文献
18-冠醚-6对金属Co在化学机械抛光液中腐蚀的影响
文献摘要：
在含双氧水(H2O2)10 mL/L和氨三乙酸(NTA)20 mmol/L的溶液(pH=9)中分别加入0.5、1.0、1.5和2.0 mg/L的18-冠醚-6,研究了在弱碱性条件下18-冠醚-6对金属钴(Co)电化学腐蚀的影响.结果表明:随着18-冠醚-6质量浓度的增加,钴与氮化钛(TiN)的腐蚀电位差先降低后升高,当18-冠醚-6为1.0 mg/L时最低,而钴的腐蚀电流密度越来越小.通过扫描电镜(SEM)形貌表征和X射线光电子能谱(XPS)分析可以证实,18-冠醚-6的加入使钴表面的电化学腐蚀得到了有效抑制,显著改善了Co在化学机械抛光(CMP)后的表面状态.
文献关键词：
钴;化学机械抛光;18-冠醚-6;腐蚀电化学;微观形貌;X射线光电子能谱
中图分类号：
作者姓名：
朱甜甜;胡连军;王昊;刘玉岭;潘国峰
作者机构：
河北工业大学电子信息工程学院,天津 300130;天津电子材料与器件重点实验室,天津 300130
文献出处：
引用格式：
[1]朱甜甜;胡连军;王昊;刘玉岭;潘国峰-.18-冠醚-6对金属Co在化学机械抛光液中腐蚀的影响)[J].电镀与涂饰,2022(11):811-816
A类：
B类：
冠醚,Co,化学机械抛光,抛光液,双氧水,H2O2,NTA,别加,弱碱,碱性条件,金属钴,电化学腐蚀,氮化钛,TiN,腐蚀电位,电位差,先降,腐蚀电流密度,形貌表征,光电子能谱,XPS,CMP,表面状态,腐蚀电化学,微观形貌
AB值：
0.340253
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
