典型文献
有限元法提取寄生参数的宏敏感度模型
文献摘要：
宏模型广泛地应用于集成电路寄生参数提取过程之中,它不仅能够有效减少计算复杂度,还能在保证计算精度的前提下加密敏感电路或器件结构.当前的集成电路特征尺寸已处于纳米量级,工艺波动所引入的导体尺寸变异对电路性能的影响不可忽略,为了解决这个问题,提出了一种宏模型的敏感度模型,即宏敏感度模型.基于有限元法框架,通过计算静电场总体刚度矩阵对工艺参数的导数完成对宏敏感度模型的构建,算例验证表明,宏敏感度模型能够分析集成电路的敏感度,从而提高利用宏模型提取参数的可靠性及电路设计的稳定性.
文献关键词：
寄生参数提取;有限元法;宏模型;敏感度模型;集成电路
中图分类号：
作者姓名：
张程;徐小宇
作者机构：
中国科学院微电子研究所,北京100029;中国科学院大学,北京100049
文献出处：
引用格式：
[1]张程;徐小宇-.有限元法提取寄生参数的宏敏感度模型)[J].电子设计工程,2022(16):6-9,16
A类：
寄生参数提取
B类：
有限元法,敏感度模型,宏模型,集成电路,少计,计算复杂度,计算精度,感电,器件结构,特征尺寸,工艺波动,体尺,静电场,总体刚度,刚度矩阵,导数,数完,算例验证,高利,提取参数,电路设计
AB值：
0.28364
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
