典型文献
基于AlN的体声波滤波器材料、器件与应用研究进展
文献摘要：
在5G通信时代,体声波(BAW)滤波器件成为实现高性能射频(RF)滤波的有效解决方案.在当前BAW器件发展最成熟的薄膜体声波谐振器(FBAR)技术和专利被少数几家公司持有的大环境下,对压电薄膜生长、器件的制备工艺等方面进行突破,形成独有的BAW器件技术路线显得尤为重要.本文综述了AlN薄膜的生长、AlN材料在BAW滤波器件的发展、基于AlN的BAW器件的制备及其应用.在国内研究者的努力下,基于单晶AlN的体声波谐振器(SABAR)器件,通过在材料生长方法及制备工艺上的独立自主创新,不仅使BAW滤波器件的性能得到了进一步提升,也给受到国外掣肘的国内射频滤波行业带来了一条摆脱国外"卡脖子"问题的新路线.
文献关键词：
AlN薄膜;体声波滤波器;材料生长;设备制造;单晶AlN的体声波谐振器
中图分类号：
作者姓名：
欧阳佩东;衣新燕;罗添友;王文樑;李国强
作者机构：
华南理工大学材料科学与工程学院,广州 510641;广州市艾佛光通科技有限公司,广州 510700
文献出处：
引用格式：
[1]欧阳佩东;衣新燕;罗添友;王文樑;李国强-.基于AlN的体声波滤波器材料、器件与应用研究进展)[J].人工晶体学报,2022(09):1691-1702
A类：
体声波滤波器,SABAR
B类：
AlN,器材,BAW,RF,薄膜体声波谐振器,FBAR,少数几家,压电薄膜,薄膜生长,制备工艺,国内研究,单晶,材料生长,独立自主,掣肘,内射,卡脖子,设备制造
AB值：
0.212846
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