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基于AlN的压电MEMS超声换能器阵列
文献摘要：
针对目前超声换能器机电耦合系数较低的问题,本文设计了一种以氮化铝(AlN)为压电材料的微机电系统(MEMS)超声换能器阵列以提高机电耦合系数.在COMSOL Multiphysics中用模态分析确定了超声换能器工作在一阶模态下有最大的声场输出,并给出了其声场传播示意图.通过对超声换能器在工作状态时的应力分析,计算出当上电极半径为空腔半径的70％时,超声换能器有最大的发射声场效率.用网络分析仪对超声换能器的阻抗曲线进行测量,从中推导出其机电耦合系数为1.6％,展现出良好的工程应用前景.
文献关键词：
压电超声换能器;有限元分析;模态分析;应力分析;阻抗测试
中图分类号：
作者姓名：
王强;杨婷婷;薛小斌;臧俊斌;张增星;薛晨阳
作者机构：
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]王强;杨婷婷;薛小斌;臧俊斌;张增星;薛晨阳-.基于AlN的压电MEMS超声换能器阵列)[J].传感器与微系统,2022(03):51-53
A类：
B类：
AlN,MEMS,换能器阵列,机电耦合系数,氮化铝,压电材料,微机电系统,COMSOL,Multiphysics,模态分析,一阶模态,声场,示意图,工作状态,应力分析,当上,空腔,网络分析仪,压电超声换能器,阻抗测试
AB值：
0.25921
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