典型文献
基于热电堆的新型高温薄膜热流传感器的研制
文献摘要：
精确的热流测量对航空发动机设计至关重要,实时监测和获取发动机涡轮叶片表面精确的热流分布可以为航空发动机热端部件设计提供依据,也可以进行状态监测和故障诊断.薄膜热流传感器具有体积小、响应速度快、对工作环境的流动干扰小等优点.然而,目前能够应用于高温高热流环境中测量的薄膜热流传感器在灵敏度方面仍然存在较大的局限性.设计和制造了基于铂铑热电堆的新型高温薄膜热流传感器.该传感器由Pt/Pt-13Rh薄膜热电堆、底层SiO2/Al2 O3热阻层、顶层Al2 O3保护层组成,底层SiO2/Al2 O3热阻层位于Al2 O3陶瓷基底和热电堆之间.传感器分别在0～110 kW/m2的热流和1000℃的温度下进行了测试.测试结果显示,传感器的输出与施加的热流表现出良好的线性关系,灵敏度为8.04×10-6 V/(kW/m2),实验数据与仿真结果相近.具有Al2 O3保护层的传感器在1000℃中保温3 h后电阻、灵敏度及响应特性基本上不受影响.设计的新型高温薄膜热流传感器具有较高的灵敏度和可靠性,将为高温环境中的热流测量提供一种新方法.
文献关键词：
薄膜热流传感器;Pt/Pt-13Rh热电堆;塞贝克效应;高温高热流
中图分类号：
作者姓名：
郭林琪;张梅菊;金毅;王禹森;胡国胜;杨伸勇;张丛春
作者机构：
上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海,200240;上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海,200240;北京长城航空测控技术研究所先进传感器技术中心,北京,101111
文献出处：
引用格式：
[1]郭林琪;张梅菊;金毅;王禹森;胡国胜;杨伸勇;张丛春-.基于热电堆的新型高温薄膜热流传感器的研制)[J].传感技术学报,2022(09):1167-1173
A类：
薄膜热流传感器,高温高热流,13Rh
B类：
热电堆,航空发动机,发动机设计,发动机涡轮叶片,热流分布,热端部件,部件设计,状态监测,体积小,响应速度快,流动干扰,铂铑,Pt,SiO2,Al2,O3,热阻,保护层,层位,陶瓷基底,kW,流表,响应特性,基本上,高温环境,塞贝克效应
AB值：
0.18544
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
