典型文献
基于聚酰亚胺/石墨复合衬底的快速响应MEMS柔性温度传感器
文献摘要：
针对现有柔性温度传感器衬底导热慢的问题,为快速监测轴承等曲面的温度,向聚酰亚胺(PI)中掺入3wt％石墨(GR),制备高导热复合材料,得到的GR/PI复合薄膜导热率达到0.777 W·m-1·K-1,且具有良好的绝缘性.基于微加工技术,在GR/PI复合薄膜上制备了铂薄膜柔性温度传感器,改善了其动态响应特性,响应时间达到71 ms,优于纯PI衬底上的铂薄膜温度传感器.除此之外,所制备的柔性温度传感器的线性度、灵敏度和测量重复性等电学性能均较好.将制备的柔性温度传感器用于金属轴表面的温度测量,与商用红外摄像仪对比,两者测量值差别较小(±2℃以内).
文献关键词：
复合薄膜衬底;柔性温度传感器;导热性优化;快速响应
中图分类号：
作者姓名：
刘玉;时浩程;果春焕;王学文;杨卓青
作者机构：
上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240;哈尔滨工程大学材料与化学工程学院,哈尔滨150001;西北工业大学柔性电子前沿科学中心(柔性电子研究院),西安710072
文献出处：
引用格式：
[1]刘玉;时浩程;果春焕;王学文;杨卓青-.基于聚酰亚胺/石墨复合衬底的快速响应MEMS柔性温度传感器)[J].半导体光电,2022(06):1068-1074
A类：
复合薄膜衬底,导热性优化
B类：
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AB值：
0.292483
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