典型文献
用于声表面波高温传感应变传递的过渡层薄膜
文献摘要：
声表面波(SAW)器件广泛应用于极端环境传感,硅酸镓镧(LGS)是常用高温压电晶体,但高温下应变胶因结合力导致应变传递效果不佳.该文研究了高温环境下应变传感的过渡层薄膜技术,提出了一种新的过渡层薄膜解决方案及其工艺技术,可实现高温应变胶水传递应变更稳定的效果.结果表明,采用溅射Al再氧化可显著提升LGS与高温胶的结合力,从而实现很好的应变传递,使用这种过渡层实现了500℃下超大量程(1 000 με)测量.
文献关键词：
高温应用;高温应变测量;应变传递;压电晶体;声表面波(SAW)
中图分类号：
作者姓名：
宋心雨;金浩;董树荣;骆季奎
作者机构：
浙江大学 信息与电子工程学院,浙江省先进微纳电子器件与智能系统重点实验室,浙江 杭州310027
文献出处：
引用格式：
[1]宋心雨;金浩;董树荣;骆季奎-.用于声表面波高温传感应变传递的过渡层薄膜)[J].压电与声光,2022(06):851-853
A类：
高温应变测量
B类：
声表面波,波高,应变传递,过渡层,SAW,极端环境,硅酸,LGS,高温压电,压电晶体,结合力,高温环境,应变传感,膜技术,工艺技术,胶水,更稳,溅射,种过,超大量程,高温应用
AB值：
0.315986
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