典型文献
In2O3/ITO薄膜热电偶动态特性研究
文献摘要：
为研究薄膜热电偶动态响应特性的影响机制,选用不同基底厚度的In2 O3/ITO薄膜热电偶为研究对象.基于理论分析,通过COMSOL软件建立薄膜热电偶的传热模型,对被测薄膜热电偶的温度场分布和动态响应进行有限元分析.搭建以半导体激光器为热源的高温动态标定系统,对三种厚度的薄膜样件进行了动态标定实验.当激光脉宽为10 ms时,100,500,1000μm厚度的薄膜热电偶的时间常数为2.38,4.97,9.17 ms.实验结果证明:薄膜热电偶的动态特性受基底厚度的影响,为薄膜热电偶设计参数的优化、动态特性的提升和后期制备提供了理论依据.
文献关键词：
薄膜热电偶;半导体激光器;基底厚度;动态特性
中图分类号：
作者姓名：
张杰;王高;李志玲;刘云东;梁海坚;黄漫国
作者机构：
中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室,山西太原030051;太原工业学院电子工程系,山西太原030051;北京长城航空测控技术研究所状态监测特种传感技术航空科技重点实验室,北京100022
文献出处：
引用格式：
[1]张杰;王高;李志玲;刘云东;梁海坚;黄漫国-.In2O3/ITO薄膜热电偶动态特性研究)[J].传感器与微系统,2022(08):37-40,44
A类：
B类：
In2O3,ITO,薄膜热电偶,动态特性,动态响应特性,基底厚度,COMSOL,传热模型,温度场分布,半导体激光器,热源,动态标定,标定系统,样件,标定实验,脉宽,ms,时间常数,设计参数
AB值：
0.227335
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