典型文献
金属基原位生成薄膜应力传感器及其性能研究
文献摘要：
针对传统"贴片"箔式传感器粘胶传递形变滞后、敏感栅和基底协同形变不佳以及粘胶易老化蠕变等问题,研制了一种金属基原位生成的薄膜应力传感器.该传感器通过在金属结构钢表面逐步原位沉积NiCrAlY合金过渡层、Al203绝缘层、康铜薄膜电阻栅网以及环氧灌封胶保护层等功能层制备而成.实验结果表明,原位生成的薄膜应力传感器(GF=11.94)相比于"贴片"箔式传感器(GF=7.29)具有更高的灵敏度,敏感栅和基底的协同形变效果更好,传感器的蠕变更小,使用长期稳定性也更好.
文献关键词：
薄膜传感器;原位沉积;多层膜结构;箔式传感器;应变敏感系数
中图分类号：
作者姓名：
胡林;邹洪森;高纬栋;陈国伟;孙秉毅;刁心玺
作者机构：
浙江维思无线网络技术有限公司,浙江嘉兴314001;国网宁夏电力有限公司检修公司,宁夏银川750001
文献出处：
引用格式：
[1]胡林;邹洪森;高纬栋;陈国伟;孙秉毅;刁心玺-.金属基原位生成薄膜应力传感器及其性能研究)[J].传感器世界,2022(10):15-19,35
A类：
箔式传感器,康铜,应变敏感系数
B类：
金属基,基原,原位生成,薄膜应力,应力传感器,贴片,粘胶,敏感栅,蠕变,金属结构,结构钢,钢表面,原位沉积,NiCrAlY,过渡层,Al203,绝缘层,薄膜电阻,栅网,环氧灌封胶,保护层,功能层,GF,变效,长期稳定性,薄膜传感器,多层膜结构
AB值：
0.331035
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