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面向倏逝波传感的微槽式谐振腔设计及制备
文献摘要：
针对二氧化硅波导腔在倏逝波传感领域的应用,研制了一种微槽式二氧化硅光波导微环谐振腔结构.基于耦合模理论,分析了微槽式二氧化硅光波导微环谐振腔的传输特性和特征参量,优化了结构参数.采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术进行了器件的加工.搭建了测试系统并对制备得到的谐振腔进行品质因数(Q)测试以及声传感测试.测试结果表明,Q值可达1.69×106,在1 kHz、5 Pa的声压下,信噪比可达22.975dB.相较于传统的掩埋式微环谐振腔结构,此设计的微槽式微环谐振腔倏逝场效应更强,在倏逝波传感领域有着更好的应用潜力.
文献关键词：
微环谐振腔;光波导;倏逝场效应;微纳加工;品质因数
中图分类号：
作者姓名：
祝敏;崔建功;余亚鑫;楚晓霞;张国军;杨玉华;王任鑫;何常德;张文栋
作者机构：
中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室,太原 030051
文献出处：
引用格式：
[1]祝敏;崔建功;余亚鑫;楚晓霞;张国军;杨玉华;王任鑫;何常德;张文栋-.面向倏逝波传感的微槽式谐振腔设计及制备)[J].微纳电子技术,2022(11):1205-1210
A类：
975dB,倏逝场效应
B类：
倏逝波传感,微槽,槽式,二氧化硅,硅光波导,微环谐振腔,耦合模理论,传输特性,特征参量,等离子体增强化学气相沉积,PECVD,电感耦合等离子体,ICP,刻蚀技术,测试系统,品质因数,试以,kHz,Pa,声压,掩埋,式微,微纳加工
AB值：
0.207632
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