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基于电学拓扑结构拓展FBAR滤波器带宽研究
文献摘要：
该文研究了一种薄膜体声波谐振器(FBAR)采用并联电感和外匹配电路的拓扑结构实现宽带滤波的方法.使用Comsol软件对FBAR进行三维结构仿真,并提取最优电极形状(变迹五边形)对应曲线到ADS中联合外匹配电路进行频带拓展,外匹配电路中的电感Ls取值直接影响滤波器带宽.经调节,最终在谐振器串联谐振频率fs=1.97 GHz,并联谐振频率fp=2.03 GHz的情况下实现了21.15％的相对带宽,此时对应的3 dB带宽为419 MHz,1 GHz处的带外抑制为11.616 dB.
文献关键词：
薄膜体声波谐振器(FBAR);有限元仿真;MBVD模型;宽带;拓扑结构
中图分类号：
作者姓名：
常亚慧;汪为民
作者机构：
重庆大学 光电技术及系统教育部重点实验室,新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆 400044
文献出处：
引用格式：
[1]常亚慧;汪为民-.基于电学拓扑结构拓展FBAR滤波器带宽研究)[J].压电与声光,2022(05):691-695
A类：
MBVD
B类：
电学,拓扑结构,FBAR,滤波器,薄膜体声波谐振器,配电,宽带滤波,Comsol,三维结构,结构仿真,变迹,五边形,ADS,中联,行频,频带,Ls,串联谐振,谐振频率,fs,GHz,并联谐振,fp,相对带宽,dB,MHz,带外抑制,有限元仿真
AB值：
0.412482
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