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微型气相色谱柱芯片研究进展
文献摘要：
微型气相色谱仪可对复杂气体组分进行现场、实时、快速地定性和定量分析.微型气相色谱柱芯片作为微型气相色谱仪的核心部件之一,决定了其分离性能的好坏.微机电系统(MEMS)技术的发展为制造微型气相色谱柱芯片提供了有效的加工技术、可灵活选择的衬底材料,甚至可以通过MEMS技术制备均匀的固定相,从而获得具有更好分离性能的微型气相色谱柱芯片.综述了近年来基于MEMS技术的微型气相色谱柱芯片的研究进展,内容主要涉及微型气相色谱柱芯片的微沟道加工技术、柱内结构、芯片衬底材料以及固定相的制备方法等方面.
文献关键词：
气相色谱;微机电系统;微型气相色谱柱芯片
中图分类号：
作者姓名：
张海燕;赵斌;曹可;李磊;郑丹;冯飞
作者机构：
上海应用技术大学化学与环境工程学院,上海201418;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海200050
文献出处：
引用格式：
[1]张海燕;赵斌;曹可;李磊;郑丹;冯飞-.微型气相色谱柱芯片研究进展)[J].传感器与微系统,2022(03):1-6,11
A类：
微型气相色谱柱芯片
B类：
气相色谱仪,杂气,气体组分,定性和定量分析,核心部件,分离性能,好坏,微机电系统,MEMS,加工技术,衬底,固定相,沟道,制备方法
AB值：
0.13362
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