典型文献
基于MEMS工艺的压电驱动的可变形反射微镜
文献摘要：
可变形反射镜作为自适应光学系统的核心部件,通过与微电子机械系统(MEMS)技术的结合向微型化、集成化的方向发展.基于压电材料的逆压电效应,设计并制备了一种压电驱动的可变形反射微镜,可通过电信号的控制实现微镜的驱动控制.设计的可变形反射微镜由硅镜片、锆钛酸铅(PZT)驱动器和玻璃基板三部分结构组成.利用有限元仿真软件对硅镜片的结构进行了优化.采用物理气相沉积、紫外光刻、共晶键合、机械切割和深反应离子刻蚀(DRIE)等工艺制备了微镜.在制备硅镜片的每一个工艺步骤结束后,使用激光干涉仪对硅镜面表面形变进行了检测.检测结果显示,制备的微镜在加载±1.5 kV电压时可以实现正向最大0.6 μm、负向最大1.7μm的变形.着重讨论了硅镜片产生不均匀形变的原因,并提出了一些解决办法.
文献关键词：
微电子机械系统(MEMS);自适应光学系统;可变形反射微镜;硅镜片;压电材料
中图分类号：
作者姓名：
王一;王欢;李以贵
作者机构：
上海应用技术大学理学院,上海201418
文献出处：
引用格式：
[1]王一;王欢;李以贵-.基于MEMS工艺的压电驱动的可变形反射微镜)[J].微纳电子技术,2022(01):66-73
A类：
可变形反射微镜,变形反射镜,硅镜片,DRIE
B类：
MEMS,压电驱动,自适应光学系统,核心部件,微电子机械系统,微型化,集成化,压电材料,逆压电效应,电信号,驱动控制,锆钛酸铅,PZT,驱动器,玻璃基板,三部分,结构组成,有限元仿真,物理气相沉积,紫外光刻,共晶键合,机械切割,离子刻蚀,工艺制备,激光干涉仪,镜面,表面形变,kV,均匀形变,解决办法
AB值：
0.242828
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