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蝶翼式MEMS加速度计温度稳定性提升方法
文献摘要：
环境温度变化造成的热应力是影响MEMS加速度计性能的关键因素.为了提升MEMS加速度计温度稳定性,以蝶翼式MEMS加速度计为研究对象,分别在敏感芯片上设计应力释放结构和敏感芯片与陶瓷基底之间设计应力隔离结构.利用有限元分析工具COMSOL对有无应力释放和隔离结构的情况进行了对比仿真,结果表明敏感单元上的敏感梁应用应力释放结构只有原结构最大应力水平的0.3％,封装时采用应力隔离结构间接连接比原直接连接方式最大应力下降一个数量级.采用微机械加工技术和微电子工艺技术结合的MEMS加工工艺实现含应力隔离结构的加速度计原理样机制作.对样机进行温度测试,试验结果表明有应力释放与隔离结构在-40℃～60℃ 区间的漂移量比无应力释放与隔离结构提升约3.5倍,验证了应力释放与隔离结构对温度稳定性提升的有效性,研究结果可以为加速度计在高性能、恶劣环境下的应用提供参考.
文献关键词：
MEMS加速度计;应力释放与隔离结构;温度稳定性;MEMS加工工艺
中图分类号：
作者姓名：
蒲金飞;侯占强;虢晓双;曾承志;肖定邦;吴学忠
作者机构：
国防科技大学 智能科学学院,长沙 410073;唐智科技湖南发展有限公司,长沙 410007;湖南天羿领航科技有限公司,长沙 410100
文献出处：
引用格式：
[1]蒲金飞;侯占强;虢晓双;曾承志;肖定邦;吴学忠-.蝶翼式MEMS加速度计温度稳定性提升方法)[J].中国惯性技术学报,2022(02):235-239
A类：
应力释放与隔离结构
B类：
MEMS,加速度计,计温,温度稳定性,稳定性提升,提升方法,热应力,设计应力,陶瓷基底,COMSOL,无应力,原结构,最大应力,应力水平,封装,间接连接,直接连接,连接方式,应力下降,数量级,微机械,机械加工技术,微电子工艺,工艺技术,技术结合,加工工艺,原理样机,温度测试,漂移量,结构提升,恶劣环境
AB值：
0.258786
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