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石墨烯晶圆的制备:从高品质到规模化
文献摘要：
石墨烯晶圆是引领未来的战略材料,在集成电路、微机电系统和传感器等领域具有广阔的应用前景.实现石墨烯晶圆广泛应用的前提是高品质材料的规模化制备.可控性高、工艺兼容性强、成本低的化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)法,是高品质石墨烯晶圆规模化制备的首选方法.本文将综述石墨烯晶圆的CVD制备进展:首先探讨石墨烯晶圆的制备需求,从实用牵引和应用场景出发,提出石墨烯晶圆的制备品质等级;随后重点介绍石墨烯的晶圆级制备方法和石墨烯晶圆材料的规模化制备技术;最后,对石墨烯晶圆可行的制各路线进行总结,并展望未来可能的发展方向.
文献关键词：
石墨烯晶圆;化学气相沉积;高品质;规模化制备
中图分类号：
作者姓名：
姜蓓;孙靖宇;刘忠范
作者机构：
北京大学纳米化学研究中心,北京分子科学国家研究中心,北京大学化学与分子工程学院,北京100871;北京石墨烯研究院,北京100095;苏州大学能源学院,苏州大学能源与材料创新研究院,苏州大学-北京石墨烯研究院协同创新中心,江苏苏州215006
文献出处：
引用格式：
[1]姜蓓;孙靖宇;刘忠范-.石墨烯晶圆的制备:从高品质到规模化)[J].物理化学学报,2022(02):3-15
A类：
石墨烯晶圆,圆材
B类：
集成电路,微机电系统,质材料,规模化制备,可控性,工艺兼容性,化学气相沉积,chemical,vapor,deposition,CVD,圆规,备品,晶圆级,制备方法,制备技术,各路,展望未来,未来可能
AB值：
0.1888
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