典型文献
基于逆向优化策略的面形绝对检测平移量研究
文献摘要：
本文针对共轭平移差分方法中的关键参数进行研究，提出了一种基于逆向优化策略的平移量最优解确定方法。首先对差分逼近精度及信噪比进行研究，建立噪声条件下的平移量与面形重建误差模型；然后将被测面面形估计值和随机噪声引起的面形偏差作为变量，利用差分Zernike算法求解面形重建容许误差下的最佳平移量区间；最后采用商用干涉仪对标准镜进行不同平移量下的面形绝对检测对比实验。实验结果表明：平移量的取值会直接影响面形测量精度，在最佳平移区间内进行面形绝对检测所得结果与传统三面互检方法所得结果基本吻合，证明了所提方法可以有效提高平面光学元件的面形测量精度。
文献关键词：
测量;绝对检测;共轭平移差分;干涉测量;Zernike波面重建;measurement;absolute testing;conjugate translation difference;interferometry;Zernike wavefront reconstruction
中图分类号：
作者姓名：
张梦瑶;田爱玲;王大森;朱学亮;刘丙才;王红军
作者机构：
西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室，陕西 西安 710021;中国兵器科学研究院宁波分院，浙江 宁波 310022
文献出处：
引用格式：
[1]张梦瑶;田爱玲;王大森;朱学亮;刘丙才;王红军-.基于逆向优化策略的面形绝对检测平移量研究)[J].中国激光,2022(18):1804003
A类：
共轭平移差分
B类：
逆向优化,绝对检测,差分方法,最优解,确定方法,逼近精度,噪声条件,重建误差,误差模型,估计值,随机噪声,面形偏差,Zernike,容许,差下,商用,干涉仪,影响面,面形测量,测量精度,三面,检方,高平,面光,光学元件,干涉测量,波面,measurement,absolute,testing,conjugate,translation,difference,interferometry,wavefront,reconstruction
AB值：
0.463384
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