典型文献
离轴抛物面的对比测量
文献摘要：
采用离轴角度90°、口径1 inch的离轴抛物面作为样品,比对了传统零位干涉测量结果和非接触式3D非球面光学面形测量系统Luphoscan之间的差异.利用Zemax仿真了离轴抛物面六个维度的调整误差对测量结果的影响,分析了离轴量误差在两种完全不同测量过程中的表现形式,解决了Luphoscan测量结果可用性问题.根据仿真结果搭建动态干涉仪的零位检验干涉光路,建立了离轴抛物面的六个维度调节标准流程,可快速消除调整误差和离轴量误差,多次复现性测试结果达到了pv=0.135λ的精度.
文献关键词：
离轴抛物面;无像差点法检测;Luphoscan;动态干涉仪
中图分类号：
作者姓名：
陈巍;王青;朱贵博
作者机构：
南京理工大学 电子工程与光电技术学院,江苏 南京 210094
文献出处：
引用格式：
[1]陈巍;王青;朱贵博-.离轴抛物面的对比测量)[J].光学仪器,2022(01):15-21
A类：
Luphoscan,动态干涉仪,零位检验,无像差点法检测
B类：
离轴抛物面,对比测量,轴角,口径,inch,对了,干涉测量,非接触式,非球面,面光,面形测量,测量系统,Zemax,可用性,光路,标准流程,复现,pv
AB值：
0.262695
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