典型文献
X射线柱面镜拼接检测大角度定位误差校正
文献摘要:
为解决拼接干涉测量过程中的子孔径机械定位误差问题,提出一种基于遗传算法的定位误差补偿方法。该算法利用子孔径重叠区域匹配度作为适应度函数,再使用误差搜索算法计算并补偿子孔径测量过程中产生的定位误差。通过仿真及实验证明该算法对子孔径机械定位误差的补偿能力。拟合柱面镜的仿真结果显示,该算法角度误差计算精度优于0.01°,平移误差计算精度优于0.16 mm,且补偿后的拼接面形与仿真面形基本一致。对曲率半径接近100 m的椭圆柱面镜的拼接测量实验结果表明,所提出的机械误差补偿算法可以有效补偿拼接测量过程中引入的机械定位误差,减少子孔径测量过程中对高精度机械位移平台的依赖。
文献关键词:
X射线光学
中图分类号:
作者姓名:
覃蝶;吴永前;徐燕;张帅;邓婷
作者机构:
中国科学院光电技术研究所,四川 成都 610209;中国科学院大学,北京 100049
文献出处:
引用格式:
[1]覃蝶;吴永前;徐燕;张帅;邓婷-.X射线柱面镜拼接检测大角度定位误差校正)[J].激光与光电子学进展,2022(17):1734002
A类:
椭圆柱面镜
B类:
拼接检测,大角度,定位误差,误差校正,干涉测量,子孔径,误差补偿,补偿方法,法利,重叠区域,匹配度,适应度函数,搜索算法,算法计算,孔径测量,对子,补偿能力,角度误差,误差计算,计算精度,平移误差,接面,曲率半径,测量实验,补偿算法,少子
AB值:
0.338752
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