典型文献
基于宽波段光源拼接镜新型共相检测技术研究
文献摘要：
鉴于单块口径的光学望远镜不能无限增大,采用拼接镜技术才能造出10 m以上口径的光学望远镜,因此,拼接镜的共相检测技术成为了拼接过程和维持镜面质量的关键技术.针对目前最被接受的宽窄带夏克哈特曼法,本文提出使用宽波段(400～700 nm)光源的非相干性和相干性相结合方式实现250 nm粗共相,以及10 nm精共相,以此解决由于目标流量过低而引起测量时间过长的问题.即在粗共相时,以两个半圆孔的非相干衍射图样为模板,白光为光源,采用互相关算法计算互相关系数的值,通过设置合理的互相关系数阈值,以实现无限制的检测范围和0.25 μm的检测精度;精共相时,以白光为光源、采用以一幅相干衍射图案(理想白光艾里斑)为模板的方式替代多幅不同平移误差下的相干衍射图案为模板方式,实现0.27 μm量程、0.01 μm以上精度的共相检测.对该共相方法进行了理论和仿真分析,结果表明:该新型共相检测方法的检测量程为无限量程,检测精度能达到10 nm以上,该方法适用于拼接镜粗精共相的检测.
文献关键词：
天文光学;望远镜;子孔衍射;共相检测
中图分类号：
作者姓名：
李斌;杨阿坤;邹吉平
作者机构：
华东交通大学智能机电装备创新研究院,江西南昌330013
文献出处：
引用格式：
[1]李斌;杨阿坤;邹吉平-.基于宽波段光源拼接镜新型共相检测技术研究)[J].中国光学,2022(04):797-805
A类：
子孔衍射
B类：
宽波段,光源,拼接,共相检测,口径,望远镜,上口,接过,镜面,宽窄带,哈特曼,出使,非相干,相干性,结合方式,目标流,半圆,圆孔,衍射图样,白光,互相关算法,算法计算,互相关系数,检测范围,检测精度,一幅,图案,艾里,多幅,平移误差,差下,量程,无限量,天文光学
AB值：
0.315962
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