典型文献
椭圆形平面镜的高精度面形重构技术
文献摘要：
为了实现大口径椭圆形光学平面镜的高精度面形测量,提升大口径望远镜系统的像质,本文对椭圆形平面反射镜面形的绝对检测算法进行了研究.首先,对椭圆形镜面进行了多项式正交化拟合研究.接着,对绝对检测算法进行了理论研究,利用正交化绝对检测算法可以有效分离参考镜与待测镜的面形误差,从而实现待测椭圆形平面镜面的高精度面形重构.为了证明上述方法的实际检测精度,本文对250 mm×300 mm的椭圆形镜面进行了绝对检测模拟与检测实验.对参考镜面形精度不高的情况进行了仿真计算,实验中利用光阑在Zygo300 mm口径标准平面镜头中选取250 mm×300 mm椭圆形检测区域,采用150 mm口径Zygo干涉仪对上述椭圆形区域完成绝对检测,并基于上述正交化绝对检测算法对椭圆形平面镜实现了面形重构.实验结果表明,利用本文所述方法可以实现参考镜与椭圆形待测镜面的面形误差分离,绝对检测结果的残差图RMS(Root-mean square)值为0.29 nm,证明了本文所述方法的可行性.利用上述方法可以实现椭圆形平面反射镜的高精度面形重构.
文献关键词：
干涉检测;绝对检测;正交化;拟合;椭圆形平面镜
中图分类号：
作者姓名：
闫公敬;罗旺;张斌智
作者机构：
齐齐哈尔大学 理学院,黑龙江 齐齐哈尔 161000;广东省季华实验室,广东 佛山 528200
文献出处：
引用格式：
[1]闫公敬;罗旺;张斌智-.椭圆形平面镜的高精度面形重构技术)[J].中国光学,2022(02):319-327
A类：
椭圆形平面镜,Zygo300,标准平面镜
B类：
重构技术,面形测量,大口径望远镜,像质,反射镜,镜面,绝对检测,检测算法,多项式,正交化,有效分离,面形误差,检测精度,面形精度,仿真计算,利用光,光阑,镜头,头中,干涉仪,误差分离,残差图,RMS,Root,mean,square,干涉检测
AB值：
0.223063
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