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基于微焦点X射线光栅干涉仪的波前传感与面形测量技术
文献摘要：
为了支撑高性能光源波前调控与先进实验技术开发,并在工作波长下实现实验室级面形测量,搭建了微焦点X射线光栅干涉仪实验平台.X射线光栅干涉仪是一种具有极高灵敏度的波前传感技术,可定量测量X射线波前畸变.利用相位步进和傅里叶分析方法重建条纹的相位和波前曲率半径分布,进而计算出波前角度和镜面斜率误差分布.傅里叶分析方法的测量结果与长程面形仪具有很好的一致性,两者差值的均方根小于200 nrad.所提技术可用于X射线主动光学波前在线反馈调控,反射、折射、衍射器件误差检测,以及大科学装置X射线光束质量评估等领域.
文献关键词：
X射线光学;X射线光栅干涉仪;波前传感;面形测量
中图分类号：
作者姓名：
赵帅;王秋平;张磊;王克逸
作者机构：
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥230026;中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥230029
文献出处：
引用格式：
[1]赵帅;王秋平;张磊;王克逸-.基于微焦点X射线光栅干涉仪的波前传感与面形测量技术)[J].光学学报,2022(23):244-251
A类：
光束质量评估
B类：
光栅干涉仪,波前传感,面形测量,测量技术,光源,波前调控,实验技术,技术开发,实验平台,高灵敏度,传感技术,定量测量,线波,波前畸变,傅里叶分析,条纹,曲率半径,前角,镜面,误差分布,长程,nrad,主动光学,反馈调控,射器,误差检测,大科学装置
AB值：
0.345765
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