典型文献
非球面光学元件面形误差边缘处理方法(特邀)
文献摘要：
计算机控制光学元件面形修复(Computer Control Optics Surfacing,CCOS)需要通过计算驻留时间,反复迭代,从而得到更小的误差.因为干涉测试过程中边缘面形测试的条件限制,只能得到更小孔径的误差分布图,所以面形的预测性延拓是磁流变抛光、离子束抛光等加工方式的基础技术.基于面形误差的相似性和边缘误差的连续性为出发点,开发了采用基于Zernike拟合和Laplace方程配合的方法进行光学元件面形误差边缘延拓技术.开展了相关理论分析,设计相关算法并实现了延拓过程,延拓结果符合面形相似形和连续性的加工要求,采用直接法和残余误差计算方法对延拓结果进行评估,结果证明了延拓方法的有效性.
文献关键词：
光学元件测试;面形误差延拓;Zernike拟合;Laplace方程
中图分类号：
作者姓名：
吴伦哲;徐学科;吴令奇;王哲
作者机构：
中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心,上海201800
文献出处：
引用格式：
[1]吴伦哲;徐学科;吴令奇;王哲-.非球面光学元件面形误差边缘处理方法(特邀))[J].红外与激光工程,2022(09):40-46
A类：
面形修复,Surfacing,光学元件测试,面形误差延拓
B类：
非球面光学元件,边缘处理,特邀,计算机控制,Computer,Control,Optics,CCOS,驻留时间,试过,小孔径,误差分布,分布图,磁流变抛光,离子束抛光,加工方式,基础技术,Zernike,Laplace,合面,形相,相似形,直接法,误差计算
AB值：
0.320856
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