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相移与焦移法在调制度测量轮廓术中的应用
文献摘要：
提出一种基于相移与焦移法的三维面形垂直测量方法,当投影仪变焦扫描被测物体的深度信息时,将三步相移中的三帧条纹图依次连续循环投影到被测物体表面上,相机同步采集对应的条纹图.在计算投影仪每一焦距值对应的条纹图的调制度分布时,利用该焦距位置及其前后相邻焦距值位置处的三帧条纹图近似计算该焦距位置处的调制度分布,并根据调制度值最大值与深度信息的关系重建被测物体的三维形貌.实验结果表明,所提方法的条纹投影量和数据采集量仅占传统三步相移法的1/3,却可获得与传统三步相移法几乎相同的测量精度.在1100μm测量深度范围内,相移与焦移法对任意位姿斜面的测量均方根误差平均值可达4.98 μm.
文献关键词：
测量;光学微观三维面形测量;调制度测量轮廓术;垂直测量;相移方法
中图分类号：
作者姓名：
陆泳屹;钟敏;赵旭;王嘉卉;张学琴;李敏;甘曜玮;戴湘麟;黄锴志
作者机构：
成都信息工程大学光电工程学院,四川成都 610225
文献出处：
引用格式：
[1]陆泳屹;钟敏;赵旭;王嘉卉;张学琴;李敏;甘曜玮;戴湘麟;黄锴志-.相移与焦移法在调制度测量轮廓术中的应用)[J].光学学报,2022(15):80-88
A类：
调制度测量轮廓术,垂直测量,光学微观三维面形测量
B类：
投影仪,变焦,深度信息,三步,次连续,连续循环,物体表面,同步采集,焦距,近似计算,关系重建,三维形貌,条纹投影,相移法,测量精度,测量深度,位姿,斜面,相移方法
AB值：
0.255217
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