典型文献
计算全息板干涉检测工业镜头凸自由曲面(特邀)
文献摘要:
工业镜头元件口径小、数量多、精度要求高,将自由曲面用在镜头凸面上会导致面形复杂、偏离量大,对表面面形检测提出了很高的挑战.提出了基于计算全息板(Computer-Generated-Hologram,CGH)的干涉检测方法,并利用Zemax对光路进行优化设计,建立了镜头装夹误差对检测结果的影响分析模型,提出了镜头高精度干涉检测方案,并结合实验验证了分析模型和检测方案的可靠性.实验结果表明:利用CGH可实现凸自由曲面工业镜头的全口径干涉检测,检测结果为0.57 μm PV(满足镜头检测需求),并结合轮廓仪对比验证了干涉测量的可靠性.
文献关键词:
干涉检测;凸自由曲面;工业镜头;计算全息板
中图分类号:
作者姓名:
朱德燕;唐骏伟;国成立;李元正;赵烈烽
作者机构:
南京航空航天大学航天学院,江苏南京211106;南京航空航天大学空间光电探测与感知工信部重点实验室,江苏南京211106;浙江舜宇光学有限公司,浙江余姚315400
文献出处:
引用格式:
[1]朱德燕;唐骏伟;国成立;李元正;赵烈烽-.计算全息板干涉检测工业镜头凸自由曲面(特邀))[J].红外与激光工程,2022(09):84-90
A类:
计算全息板,工业镜头,凸自由曲面,Hologram
B类:
干涉检测,特邀,精度要求,凸面,上会,偏离量,面形检测,Computer,Generated,CGH,Zemax,光路,装夹,检测方案,全口径,PV,轮廓仪,对比验证,干涉测量
AB值:
0.226185
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