典型文献
高性能大尺寸X射线多层膜反射元件研制进展
文献摘要：
X射线多层膜是同步辐射与自由电子激光、天文观测、等离子体诊断等大科学装置和实验室分析仪器的重要光学元件,能高效率反射X射线并实现单色和偏振化等调控.本课题组在近二十年的工作中对X射线多层膜的设计、制备和表征方法开展了系统深入的研究,研制了一系列工作在软X射线和硬X射线不同波段的高性能多层膜,反射率达到国际先进水平;基于磁控溅射技术建立了大尺寸掠入射X射线多层膜的镀制平台,最大镀膜尺寸达1.2 m,均匀性优于0.5％(均方根值),制备的硬X射线多层膜反射镜成功应用在国内外大科学装置中;通过将多层膜与反射光栅相结合,创新发展了超高效率韧X射线多层膜光栅元件,相比传统单层膜光栅,该元件能将韧X射线衍射效率最高提升40倍.本文将简要介绍课题组在X射线多层膜元件领域的研究进展.
文献关键词：
X射线多层膜;反射率;大尺寸反射元件;多层光栅
中图分类号：
作者姓名：
黄秋实;齐润泽;张哲;李文斌;蒋励;张云学;庄野琪;张众;王占山
作者机构：
同济大学物理科学与工程学院,先进微结构材料教育部重点实验室,精密光学工程技术研究所,上海200092
文献出处：
引用格式：
[1]黄秋实;齐润泽;张哲;李文斌;蒋励;张云学;庄野琪;张众;王占山-.高性能大尺寸X射线多层膜反射元件研制进展)[J].光学精密工程,2022(21):2793-2804
A类：
大尺寸反射元件,多层光栅
B类：
多层膜,同步辐射,自由电子激光,天文观测,等离子体诊断,大科学装置,实验室分析,分析仪器,光学元件,单色,偏振,二十年,表征方法,波段,反射率,国际先进,磁控溅射技术,掠入射,镀膜,均方根值,反射镜,成功应用,反射光栅,超高效,单层膜,衍射效率,膜元件
AB值：
0.308972
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