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基于利特罗角的8细分光栅干涉仪读头设计
文献摘要：
提出了一种外差式利特罗结构的高光学细分读头设计方案,该读头设计实现了 8倍光学细分,从而提高了测量系统的分辨力,实现精密测量.基于光栅衍射原理和多普勒频移分析了该读头的测量原理,构建光栅干涉仪读头的测量模型.使用ZEMAX仿真软件搭建读头光路并进行仿真分析,获得相干相位图样,从而验证了该读头结构的可行性.通过MATLAB与ZEMAX进行动态数据交换,实现该读头测量的信号对比度仿真,测量信号的对比度为0.426.
文献关键词：
光栅干涉仪;读头结构设计;多普勒频移;ZEMAX仿真
中图分类号：
作者姓名：
康森;熊显名;王鹏;杜浩
作者机构：
桂林电子科技大学电子工程与自动化学院,广西光电信息处理重点实验室,广西桂林 541004
文献出处：
引用格式：
[1]康森;熊显名;王鹏;杜浩-.基于利特罗角的8细分光栅干涉仪读头设计)[J].激光杂志,2022(05):38-42
A类：
利特罗角,读头结构设计
B类：
光栅干涉仪,外差,设计实现,测量系统,分辨力,精密测量,光栅衍射,衍射原理,多普勒频移,测量原理,测量模型,ZEMAX,光路,相干,相位图,图样,动态数据,数据交换,对比度
AB值：
0.341883
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