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基于波数域相位补偿的白光干涉测量
文献摘要：
白光扫描干涉测量中,频域分析(FDA)方法通过波数域的相位解包裹和线性拟合得到斜率来计算物体表面形貌,干涉仪中的振动噪声和背景噪声会给斜率测量带来误差,从而影响FDA方法的测量精度.研究发现,波数域相位线性拟合后的常数项能够有效补偿噪声对FDA方法的影响,波数域相位补偿(PCWD)方法通过对波数域的线性相位作傅里叶逆变换,得到空域的振幅和相位分布,以距离振幅最高点最近的相位零点测量光滑反射镜表面形貌.仿真结果表明:存在振动噪声时,PCWD方法有90％的概率补偿FDA测量结果中平均8.9 nm的误差,也有10％的概率给FDA测量结果额外引入平均1.9 nm的误差;存在背景噪声时,FDA与PCWD方法的平均测量误差分别为4.5 nm和0.6 nm.实验结果表明:FDA方法测量的反射镜表面结构的起伏小于25 nm,重复率为7.4 nm;PCWD方法测量的反射镜表面结构的起伏小于4 nm,重复率为1.1 nm.综上所述,PCWD方法在FDA方法的基础上进一步提升了测量精度.
文献关键词：
测量;白光干涉;表面检测;相位补偿;噪声抑制
中图分类号：
作者姓名：
罗松杰;陈子阳;丁攀峰;蒲继雄
作者机构：
福建省光传输与变换重点实验室,华侨大学信息科学与工程学院,福建厦门361021;华侨大学工学院,福建泉州362021
文献出处：
引用格式：
[1]罗松杰;陈子阳;丁攀峰;蒲继雄-.基于波数域相位补偿的白光干涉测量)[J].中国激光,2022(11):78-86
A类：
PCWD
B类：
波数域,相位补偿,白光干涉,干涉测量,频域分析,FDA,相位解包裹,线性拟合,物体表面,表面形貌,干涉仪,振动噪声,背景噪声,测量精度,位线,常数项,线性相位,傅里叶逆变换,空域,相位分布,最高点,零点,反射镜,中平,测量误差,表面结构,重复率,综上所述,表面检测,噪声抑制
AB值：
0.273113
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