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基于文献数据可视化的真空镀膜技术研究与应用分析
文献摘要：
一项技术应用的热度和广度,与其本身的技术优势、成熟度、适用性等密切相关.本文以文献数据可视化为手段对真空镀膜技术在世界范围内的研究及应用情况进行分析,以探究该技术的应用广度和热度特征,为真空镀膜技术装备的行业发展提供有益参考.研究发现离子束溅射、离子束辅助沉积、等离子体辅助物理气相沉积和原子层沉积技术是当前及以后一个时期内应重点关注的方向.
文献关键词：
真空镀膜;统计分析;物理气相沉积;化学气相沉积;热度
中图分类号：
作者姓名：
李晓刚;黎子辉;叶俊文
作者机构：
中山凯旋真空科技股份有限公司 中山528478;华南理工大学 广州510641;广东省中山市质量技术监督标准与编码所 中山528403
文献出处：
引用格式：
[1]李晓刚;黎子辉;叶俊文-.基于文献数据可视化的真空镀膜技术研究与应用分析)[J].真空科学与技术学报,2022(11):863-875
A类：
B类：
文献数据,数据可视化,真空镀膜,膜技术,热度,成熟度,研究及应用,技术装备,离子束溅射,离子束辅助沉积,物理气相沉积,原子层沉积,沉积技术,内应,化学气相沉积
AB值：
0.27737
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