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高功率脉冲磁控溅射制备金属氮化物涂层
文献摘要：
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)作为目前研究热门的物理气相沉积方法之一,已经在刀具材料、不锈钢、聚合物、复合材料等基体上实现硬质涂层、生物涂层、耐腐蚀涂层、耐高温氧化涂层、绝缘涂层等多种类型涂层制备.通过高功率脉冲磁控溅射与复合方法及后续热处理等工艺方法复合,调节高功率脉冲磁控溅射的脉冲频率、峰值功率、占空比、多脉冲和双极性实现对靶材离化率、等离子体空间分布、涂层沉积速率、相结构、微观结构、元素成分、内应力等等离子体参数和涂层物相结构的调整,以提高基体材料的硬度、耐磨损、耐腐蚀、耐高温氧化及生物相容性等综合使役性能.特别是在应用于金属氮化物涂层的制备及性能研究方面,具有巨大的工程应用价值.结合目前硬质涂层材料的应用现状,探讨高功率脉冲溅射技术沉积涂层的特性和技术优势,介绍20多年来高功率脉冲磁控溅射技术在制备单元单层、多元多层、纳米多层与多元复合、高熵合金及含Si、O、C等金属氮化物硬质涂层工艺及性能等方面应用的研究进展.
文献关键词：
高功率脉冲磁控溅射;硬质涂层;耐腐蚀;耐高温氧化;摩擦磨损性能
中图分类号：
作者姓名：
魏永强;顾艳阳;蒋志强
作者机构：
郑州航空工业管理学院航空宇航学院 郑州 450046
文献出处：
引用格式：
[1]魏永强;顾艳阳;蒋志强-.高功率脉冲磁控溅射制备金属氮化物涂层)[J].中国表面工程,2022(05):70-92
A类：
B类：
氮化物涂层,HiPIMS,物理气相沉积,刀具,不锈钢,硬质涂层,耐腐蚀,耐高温氧化,绝缘涂层,多种类型,涂层制备,热处理,工艺方法,脉冲频率,峰值功率,占空比,多脉冲,双极性,对靶,靶材,离化率,沉积速率,元素成分,内应力,等离子体参数,物相结构,基体材料,耐磨损,生物相容性,使役,制备及性能,涂层材料,高功率脉冲磁控溅射技术,多元多层,多元复合,高熵合金,Si,涂层工艺,摩擦磨损性能
AB值：
0.26891
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