典型文献
具有大光电导增益的氧化镓薄膜基深紫外探测器阵列
文献摘要：
氧化镓在深紫外探测方面具有天然的材料优势,鉴于探测器阵列在光学成像等领域有着十分重要的用途,本文主要介绍了一个五叉指电极结构的4×4氧化镓基深紫外探测器阵列.氧化镓薄膜由金属有机化学气相沉积技术生长得到,器件的加工通过紫外光刻、剥离和离子束溅射技术完成.由此得到的氧化镓薄膜结晶度高且表面均匀.探测器具有优异的深紫外光响应特性,光响应度可达2.65×103 A/W,探测度达2.76×1016 Jones,同时还具有(1.29×106)％的外量子效率,光电导增益高达12900;16个探测器单元的暗电流和光电流均具有良好的均匀性.本文从光电性能和应用前景的角度说明了氧化镓深紫外探测器阵列的巨大应用潜力.
文献关键词：
氧化镓;阵列探测器;深紫外探测
中图分类号：
作者姓名：
刘增;李磊;支钰崧;都灵;方君鹏;李山;余建刚;张茂林;杨莉莉;张少辉;郭宇锋;唐为华
作者机构：
南京邮电大学集成电路科学与工程学院, 南京 210023;南京邮电大学射频集成与微组装技术国家地方联合工程实验室, 南京 210023;中国运载火箭技术研究院, 北京 100076;金陵科技学院电子信息工程学院, 南京 211169;清华大学集成电路学院, 北京 100084;中北大学仪器与电子学院, 动态测试技术国家重点实验室, 太原 030051;深圳大学物理与光电工程学院, 微纳光电子学研究院, 深圳 518060
文献出处：
引用格式：
[1]刘增;李磊;支钰崧;都灵;方君鹏;李山;余建刚;张茂林;杨莉莉;张少辉;郭宇锋;唐为华-.具有大光电导增益的氧化镓薄膜基深紫外探测器阵列)[J].物理学报,2022(20):326-332
A类：
深紫外探测
B类：
大光,光电导,氧化镓,紫外探测器,探测器阵列,光学成像,叉指电极,电极结构,金属有机化学气相沉积,沉积技术,紫外光刻,离子束溅射,膜结晶,结晶度,光响应特性,光响应度,Jones,外量子效率,益高,暗电流,光电流,光电性能,大应用,阵列探测器
AB值：
0.23121
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
