典型文献
纳米金刚石TiV色心的实验制备与性能研究
文献摘要：
目的 利用磁控溅射辅助微波等离子体化学气相沉积技术制备钛掺杂纳米金刚石薄膜.方法 预先通过磁控溅射在石英玻璃基底上沉积纳米钛颗粒,然后使用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备在其表面沉积金刚石薄膜,通过活性氢原子将钛带入含碳生长基团中,从而将钛掺入纳米金刚石薄膜内.使用X射线光电子能谱(XPS)、拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)和共聚焦显微拉曼光谱仪对钛掺杂纳米金刚石薄膜的化学组成、表面形貌和钛色心光致发光性能进行分析.结果 上述实验方法可以将钛掺杂到金刚石薄膜中,进而影响金刚石薄膜的微观结构和表面形貌.利用XPS对实验中经过MPCVD沉积前后钛元素的键能详细地做了对比分析,预溅射钛的XPS能谱在458 eV和464 eV处出现明显的峰值,符合氧化钛的能谱,而经过MPCVD沉积金刚石薄膜后钛元素的峰值发生了移动,在454 eV和460 eV处,表明钛成键发生了改变;通过Raman检测发现钛的掺入导致G峰的强度增加;AFM表明纳米金刚石薄膜掺钛后表面粗糙度由13.8 nm下降到6.69 nm;通过荧光检测首次观察到了钛掺杂纳米金刚石薄膜在540 nm和760 nm附近的光致发光现象.结论 掺杂钛可细化金刚石晶粒,同时会增加石墨相,并降低其表面粗糙度.光致发光光谱表明钛掺杂金刚石薄膜中存在TiV0色心.这为金刚石过渡金属色心的制备提供了研究基础.
文献关键词：
磁控溅射;化学气相沉积;钛掺杂金刚石;色心;光致发光
中图分类号：
作者姓名：
谭心;徐宏飞;孟可可
作者机构：
内蒙古科技大学 机械工程学院,包头 014010
文献出处：
引用格式：
[1]谭心;徐宏飞;孟可可-.纳米金刚石TiV色心的实验制备与性能研究)[J].表面技术,2022(03):192-198
A类：
钛掺杂金刚石,TiV0
B类：
色心,实验制备,制备与性能,磁控溅射,微波等离子体化学气相沉积,沉积技术,纳米金刚石薄膜,石英玻璃,玻璃基,钛颗粒,MPCVD,积金,过活,氢原子,带入,含碳,基团,掺入,光电子能谱,XPS,Raman,原子力显微镜,AFM,共聚,显微拉曼光谱,光谱仪,化学组成,表面形貌,心光,发光性能,实验方法,钛元素,eV,氧化钛,成键,表面粗糙度,荧光检测,光现象,晶粒,光致发光光谱,谱表,过渡金属,金属色
AB值：
0.182415
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